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列真株式会社は非破壊レーザー検査を専門とするレーザー検査装置の製造販売会社です。

TEL. 03-5284-6477

〒120-0026 東京都足立区千住旭町38-1-417

製品/サービス一覧PRODUCTS&SERVICE

卓上型レーザー検査装置

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「 LODAS-mini 」

特徴:
◎ 一台多役、多機能卓上型レーザー検査装置、あらゆる材料の非破壊検査に活用。
◎ 検査対象:フォトマスク石英ガラス、Siウエハ、SiC基板、サファイア基板 。
◎ 検査内容:パーティクル、スクラッチ、ピット、気泡、結晶欠陥。
◎ 検査感度:0.1μmPSL。
◎ 検査時間:200sec(サイズ:150x150mm)
◎ 検査範囲:8〜2inchWafer@円形,6〜2inch基板@方形
◎ 装置サイズ:WxDxH=450x500x730mm


半導体フォトマスク「内部欠陥」専用検査装置

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「 LODAS-Inside 」

特徴:
◎ 検査対象:6inch半導体フォトマスク石英ガラス。
       厚み t=6.35mm。
◎ 検査内容:内部気泡、欠陥。
◎ 検査感度:1μmPSL。
◎ 検査時間:2min(6025:145x145mm)
◎ 装置サイズ:WxDxH=450x500x730mm

     

大型液晶フォトマスク欠陥検査装置

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「 LODAS-G10 」

特徴:
◎ 検査対象:液晶、OLEDフォトマスク石英ガラス。
◎ 検査内容:パーティクル、スクラッチ、ピット、内部気泡、欠陥。
◎ 検査感度:0.3μmPSL。
◎ 検査時間:60min(G8:1400x1220mm)
◎ 装置サイズ:WxDxH=2700x1500x2200mm


レーザースキャン自動焦点顕微鏡

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「 LAZIN-AF 」

特徴:
◎ 検査対象:パターン付Si-Wafer、Photomask。
◎ 検査内容:画像自動取り込み。
◎ 検査感度:1.0μm。
◎ 検査時間:120sec(サイズ:150x150mm)
◎ 装置サイズ:WxDxH=460x560x500mm


保守サービス

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弊社検査装置のメンテナンス・修理

◎ 装置セットアップ完了直後の性能維持を定期的サポートします。
◎ オンコールサービス対応。年中無休に安心サポートします。
  電話番号:03-5284-6477 平日(9:00〜17:00)
◎ 新しい要望に真摯に対応します。
◎ 顧客自ら保守・部品交換できるよう技術セミナー開催・マニュアル完備を充実します。
◎ HDD、レーザー光源等消耗品の無償診断サービスにてサポートします。


バナースペース

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FAX 03-5284-6478